主要从事智能微系统及MEMS技术研究。承担科技部重大项目及重点项目、国家基金重点项目、国家“863计划”项目等国家级项目13项,发表SCI论文229篇,H-index 48,发明专利131项,获得教育部自然科学二等奖、教育部科技进步二等奖、浙江省科技进步二等奖等。
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